离子束系统和用于检测离子束的系统

发明专利有效专利

申请号：
CN200510124608.6
IPC分类号：H01J49/26;H01J43/10;G01N23/225
申请日期：
2005-11-09
申请人：
国际商业机器公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	离子束系统和用于检测离子束的系统
申请号	CN200510124608.6	申请日期	2005-11-09
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2006-05-17	公开/公告号	CN1773268
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J49/26 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J49/00 粒子分光仪或粒子分离管〔3〕 H01J49/26 质谱仪或质量分离管〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;4;9;/;2;6;;;H;0;1;J;4;3;/;1;0;;;G;0;1;N;2;3;/;2;2;5查看分类表>
申请人	国际商业机器公司	申请人地址	开曼群岛大开曼岛变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	格芯公司	当前权利人	格芯公司
发明人	斯蒂芬·B·赫尔什贝因;纳伦德尔·拉纳;查德·鲁;迈克尔·R·西尔弗斯
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	李镇江

摘要

本申请涉及用于离子束应用的改进的离子探测器。通过使用一种倍增系统，改善对由离子束的作用从样品散射出来的弱离子流的检测。在该倍增系统中，转换倍增电极将入射离子转换为被倍增因子倍增了的数量的二次电子，这些二次电子通过合适的偏压被吸引到电子检测器。在一种方案中，检测器是一种二阶段系统，其中，二次电子撞击闪烁体，闪烁体发射的光子在光电检测器比如光电倍增器或者CCD中被检测。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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