晶片清洁装置

发明专利无效专利

申请号：
CN99808423.9
IPC分类号：--
申请日期：
1999-07-09
申请人：
拉姆研究公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	晶片清洁装置
申请号	CN99808423.9	申请日期	1999-07-09
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2001-09-12	公开/公告号	CN1312953
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	拉姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	拉姆研究公司	当前权利人	拉姆研究公司
发明人	奥利弗·戴维·琼斯;吉姆·韦尔
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	马娅佳;穆魁良

摘要

提供一种垂直方位的清洁晶片的方法与装置,该装置包括一个第一刷子以及离开第一刷子水平放置的第二刷子。在清洁之后卸下晶片的过程中,晶片垂直地处于第一与第二刷子之间并在一对滚子上,在第一与第二刷子之间的区域的上方垂直放置的指端接触晶片的一个边缘并因此使晶片处于精确的卸载位置,在该位置上晶片的传送机器人臂按已编程序咬住/松开晶片,从而,晶片被机器人臂可靠地并重复地咬住。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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