一种高温扩散炉用石英管

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120847293.2
IPC分类号：C30B31/10
申请日期：
2021-04-23
申请人：
苏州安融石英有限公司

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著录项信息

专利名称	一种高温扩散炉用石英管
申请号	CN202120847293.2	申请日期	2021-04-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B31/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B31/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置〔3，5〕 C30B31/06 同气态扩散材料接触的（C30B 31/18优先）〔3〕 C30B31/10 反应室；其所用材料的选择〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;1;/;1;0查看分类表>
申请人	苏州安融石英有限公司	申请人地址	江苏省苏州市常熟市辛庄镇光华工业区光华环路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州安融石英有限公司	当前权利人	苏州安融石英有限公司
发明人	陈文
代理机构	苏州根号专利代理事务所（普通合伙）	代理人	项丽

摘要

本实用新型涉及一种高温扩散炉用石英管，包括石英管体，石英管体的一端开口设置，另一端封闭设置并连接有进气管口、排气管口和热电偶管口，进气管口、排气管口和热电偶管口内可分别插置进气管、排气管和热电偶管进入管内，进气管口和排气管口关于石英管体对称设置，石英管体内设置有用于固定进气管和排气管的固定环和定位件，定位件包括轴对称设置的第一部分和第二部分，热电偶管口的延伸路径在第一部分和第二部分之间；第一部分和第二部分将热电偶的位置限定在石英管体的两壁部分，避免了热电偶与管体的底部相接触，一方面可以限定热偶管的位置，防止乱动，一方面使得热偶管紧贴石英管壁测量数据准确。避免干扰石英管体底部其他部件的安装。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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