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激光加工装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN97182515.7
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    1997-12-26
  • 申请人:
    三菱电机株式会社
著录项信息
专利名称激光加工装置
申请号CN97182515.7申请日期1997-12-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2001-03-07公开/公告号CN1286654
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人三菱电机株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三菱电机株式会社当前权利人三菱电机株式会社
发明人鉾馆俊之;祝靖彦;黑泽满树;西前顺一;田中健太郎
代理机构上海专利商标事务所代理人孙敬国
摘要
本发明揭示一种激光加工装置,包括变化由激光振荡器输出的激光的方向的偏转装置,以及使由前述偏转装置射入的激光折射而在加工对象工件上成像的聚焦透镜。在这种激光加工装置中,组入根据聚焦透镜温度、使由多片的透镜组成的聚焦透镜的透镜间的相对位置变化的透镜位置调整装置,根据聚焦透镜温度、使多片的透镜间的相对位置变化、以便根据透镜位置调整装置、消除透镜的折射率的温度变化。

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