被加工物的加工方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110080137.2
IPC分类号：B28D5/00;B28D5/04;H01L21/02;H01L21/78
申请日期：
2021-01-21
申请人：
株式会社迪思科

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	被加工物的加工方法
申请号	CN202110080137.2	申请日期	2021-01-21
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-17	公开/公告号	CN113263643A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B28D5/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B28 加工水泥、黏土或石料 B28D 加工石头或类似石头的材料（采矿或采石用的机械或方法入E21C） B28D5/00 宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备（磨削或抛光加工入B24；用于艺术目的加工入B44B；用非机械方法的入C04B 41/00；单晶的非机械方法后处理入C30B 33/00）〔3〕	IPC分类号	B;2;8;D;5;/;0;0;;;B;2;8;D;5;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;7;8查看分类表>
申请人	株式会社迪思科	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社迪思科	当前权利人	株式会社迪思科
发明人	山本直子
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	乔婉;于靖帅

摘要

本发明提供被加工物的加工方法，该被加工物的加工方法包含形成切削槽的切削工序和之后实施旋转清洗的清洗工序，其中，该被加工物的加工方法用于更可靠地冲走在切削工序中产生的切削屑而使其不残留于切削槽。被加工物的加工方法包含如下的步骤：切削步骤，利用前端具有V形状的切削刀具沿着分割预定线对被加工物进行切削，形成V槽，该V槽的槽浅的部分的宽度比槽深的部分的宽度宽；以及清洗步骤，在实施了切削步骤之后，利用清洗水对被加工物的背面进行清洗。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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