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半导体元件及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910433747.9
  • IPC分类号:H01L21/306;H01L21/308
  • 申请日期:
    2015-06-16
  • 申请人:
    原相科技股份有限公司
著录项信息
专利名称半导体元件及其制造方法
申请号CN201910433747.9申请日期2015-06-16
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-08-13公开/公告号CN110120340A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/306
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;8查看分类表>
申请人原相科技股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人原相科技股份有限公司当前权利人原相科技股份有限公司
发明人孙志铭;徐新惠;蔡明翰
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司代理人李兰;孙志湧
摘要
本发明提出一种半导体元件及其制造方法。半导体元件的制造方法包括:提供基板;于基板上形成半导体堆叠结构;于半导体堆叠结构上形成堆叠覆盖层的至少一部分,其中堆叠覆盖层的至少一部分包括氮化层;移除氮化层的一部分;完成堆叠覆盖层的所有部分;于堆叠覆盖层上形成保护层,并蚀刻保护层,以形成至少一开孔,其中氮化层未被开孔所暴露;以及从开孔通入一蚀刻材料,以蚀刻基板。本发明另提出一种采用上述方法形成的半导体元件。

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