一种兼有干涉效应和等离子振荡效应的传感器及其用途

发明专利无效专利

申请号：
CN200510135209.X
IPC分类号：G01N21/31;G01N21/45;H01L49/00
申请日期：
2005-12-27
申请人：
中国科学院物理研究所

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著录项信息

专利名称	一种兼有干涉效应和等离子振荡效应的传感器及其用途
申请号	CN200510135209.X	申请日期	2005-12-27
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2007-07-04	公开/公告号	CN1991338
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/31 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/17 入射光根据所测试的材料性质而改变的系统（其中所测试的材料因受到光学激发而引起入射光波长改变的入G01N 21/63）〔3〕 G01N21/25 颜色；光谱性质，即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响〔3〕 G01N21/31 测试材料在特定元素或分子的特征波长下的相对效应，例如原子吸收光谱术〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;3;1;;;G;0;1;N;2;1;/;4;5;;;H;0;1;L;4;9;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院物理研究所	申请人地址	北京市海淀区中关村南三街8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院物理研究所	当前权利人	中国科学院物理研究所
发明人	吕国伟;程波林;周岳亮;沈鸿;陈正豪;何萌;金奎娟;吕惠宾;杨国桢
代理机构	北京泛华伟业知识产权代理有限公司	代理人	高存秀

摘要

本发明涉及一种融会了光的法布里-珀罗干涉效应和纳米结构金薄膜的表面等离子振荡效应的生物或化学分子的传感器，能够实现金薄膜表面上亚单层分子的灵敏度的探测。该传感器包括一抛光平整的基底，依次沉积在其上的第一金属薄膜层、透明介质层和第二金属薄膜层；所述的第一金属薄膜层是由光学半透明的金属组成的膜层，厚度为10～1000nm；所述的透明介质层是由透明的固态介质组成的膜层，厚度在亚微米到数百微米级，该膜层做为法布里-珀罗干涉腔体；所述的第二金属薄膜层是一具有纳米结构的金的薄膜层，其厚度为3～100nm，该膜层有明显的表面等离子振荡特性。该传感器可以对生物分子或化学分子等进行快速、灵敏的检测分析。

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