一种光芯片晶圆级老化设备台

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022611304.5
IPC分类号：G01R1/04;H01S5/00
申请日期：
2020-11-12
申请人：
江苏砚灵智能科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种光芯片晶圆级老化设备台
申请号	CN202022611304.5	申请日期	2020-11-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R1/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R1/00 包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R 31/00组中的各类仪器或装置的零部件（测量电消耗量的机电装置所特有的结构零部件入G01R 11/02）〔3，8〕 G01R1/02 一般结构零部件 G01R1/04 外壳；支承构件；端子装置	IPC分类号	G;0;1;R;1;/;0;4;;;H;0;1;S;5;/;0;0查看分类表>
申请人	江苏砚灵智能科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市玉山镇玉带西路99号A栋5014室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏砚灵智能科技有限公司	当前权利人	江苏砚灵智能科技有限公司
发明人	熊联军;李晓琳;冯硕;黄晓华;赵一滟
代理机构	盐城高创知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张云

摘要

本实用新型为一种光芯片晶圆级老化设备台，涉及激光器技术领域，本实用新型包括工作台、安装机构、定位机构、连接机构以及工作机构，工作台包括台板、第一滑座以及第二滑轨，安装机构包括第二滑座，两个第二滑轨一端均与第一滑座上表面连接，两个第二滑轨另一端均与第二滑座滑动配合，定位机构包括安装柱，四个安装柱一表面均与台板一表面连接，连接机构包括竖杆、第三滑轨以及第三滑座，竖杆一表面与台板周侧面连接，工作机构旋转圆台，第三滑座一端与第三滑轨滑动配合，第三滑座另一端与旋转圆台旋转配合，本实用新型为一种光芯片晶圆级老化设备台，第一滑轨与第一滑座滑动，第二滑轨与第二滑座滑动，可以在平面内向各个方向实现移动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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