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一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201420568335.9
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2014-09-29
  • 申请人:
    四川汉能光伏有限公司
著录项信息
专利名称一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置
申请号CN201420568335.9申请日期2014-09-29
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人四川汉能光伏有限公司申请人地址
广东省深圳市龙岗区坂田街道隆平路新天下工业城2栋一楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市优通汇科技有限公司当前权利人深圳市优通汇科技有限公司
发明人罗洋;苏菁;杨明久;陈年果;李远;敬雪碧;马海文;汪涛
代理机构北京天奇智新知识产权代理有限公司代理人郭霞
摘要
本实用新型公开了一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置,包括激光刻线机、太阳能电池板和固定架,太阳能电池板水平放置,激光刻线机位于太阳能电池板的下方,激光刻线机的激光发射孔正对太阳能电池板,太阳能电池板的上方设置有吸尘器和图像传感器,吸尘器和图像传感器均固定在固定架上,吸尘器的吸尘口朝向太阳能电池板并正对于激光刻线机的激光发射孔,图像传感器的图像采集端正对太阳能电池板,吸尘器的吸尘口与固定架之间的最小距离大于图像传感器的图像采集端与固定架之间的最小距离。本实用新型可以监控到每个产品的激光刻蚀效果,能够简化或取消人为抽检过程,提高生产效率,降低人力成本,提高产品质量、良率。

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