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用于晶体管的键合焊盘堆叠

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201480037406.5
  • IPC分类号:H01L21/44;H01L29/40
  • 申请日期:
    2014-07-03
  • 申请人:
    德克萨斯仪器股份有限公司
著录项信息
专利名称用于晶体管的键合焊盘堆叠
申请号CN201480037406.5申请日期2014-07-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-02-24公开/公告号CN105359261A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/44IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;4;4;;;H;0;1;L;2;9;/;4;0查看分类表>
申请人德克萨斯仪器股份有限公司申请人地址
美国德克萨斯州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人德克萨斯仪器股份有限公司当前权利人德克萨斯仪器股份有限公司
发明人J·王;L·林;Q·贾;Q·杨;J·刘
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司代理人徐东升;赵蓉民
摘要
在所描述的示例中,形成包括底部介电层(211)和顶部介电层(212)的介电堆叠,其具有在键合焊盘(215)上方的接触孔(239)。接触孔(239)内的底部介电层(211)的外边缘延伸超过顶部介电层(212)的外边缘,以限定具有键合焊盘边缘的暴露的键合焊盘区域。第一金属层(226)被沉积。第二金属层(227)被沉积在第一金属层(226)上。第二金属层(227)被湿法刻蚀以使其从接触孔(239)中的底部介电层(211)的侧壁凹进。第一金属层(226)被湿法刻蚀以使其从顶部介电层(212)凹进。第一金属层(226)在键合焊盘边缘上方延伸到底部介电层(211)上。

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