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一种制备独立自支撑透明氮化铝纳米晶薄膜的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110023303.1
  • IPC分类号:C23C16/34;C23C16/44;B82Y40/00
  • 申请日期:
    2011-01-21
  • 申请人:
    新疆大学
著录项信息
专利名称一种制备独立自支撑透明氮化铝纳米晶薄膜的方法
申请号CN201110023303.1申请日期2011-01-21
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2011-08-17公开/公告号CN102154627A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/34IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;3;4;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;B;8;2;Y;4;0;/;0;0查看分类表>
申请人新疆大学申请人地址
新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市胜利路14号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人新疆大学当前权利人新疆大学
发明人简基康;李加杰;杨建强;李海兵;吴荣;李锦
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种制备独立自支撑透明氮化铝纳米晶薄膜的方法,是通过以下工艺过程实现的:将装有一定量无水AlCl3(纯度为质量百分比98%-99%)粉末的陶瓷舟置于长度为100cm的水平管式炉气流方向上游距管口6cm-9cm处,在距陶瓷舟20cm-25cm处放置石英管、陶瓷片等作为产物收集器,密闭管式炉抽真空到2×10-2-10-3Pa,Ar气保护下加热水平管式炉到760℃-900℃后,通入200sccm-300sccm的NH3气反应四小时,Ar气保护下自然冷却到室温,在收集器上得到独立自支撑透明氮化铝薄膜。本发明所制备薄膜为纤锌矿结构氮化铝,其特点是:在微观上为纳米晶阵列,在宏观上为独立、自支撑、透明的氮化铝薄膜。

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