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一种热丝法化学气相沉积设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202023126347.0
  • IPC分类号:C23C16/27;C23C16/44
  • 申请日期:
    2020-12-22
  • 申请人:
    广东鼎泰高科技术股份有限公司
著录项信息
专利名称一种热丝法化学气相沉积设备
申请号CN202023126347.0申请日期2020-12-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/27IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;2;7;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人广东鼎泰高科技术股份有限公司申请人地址
广东省东莞市厚街镇赤岭村工业区一横南路12号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东鼎泰高科技术股份有限公司当前权利人广东鼎泰高科技术股份有限公司
发明人周敏;王俊锋;戴军
代理机构北京品源专利代理有限公司代理人胡彬
摘要
本实用新型属于化学气相沉积技术领域,具体公开了一种热丝法化学气相沉积设备,包括腔体、载具、加热组件及调压组件,其中,腔体至少设置有两个腔室,每个腔室均设置有进气口和出气口;载具包括竖直紧固于腔室内的升降台、以及设置于升降台的载盘,载盘设置有1~3排待镀膜的工件;加热组件包括加热丝,以及电极组件;电极组件与供电装置电连接;调压组件用于腔室压力调节及腔室中气体的输入输出。本实用新型能够有效提升工件镀膜效率及其灵活性,且镀膜一致性和均匀性好,同时还能够有效节省镀膜成本。

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