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一种半导体硅晶片加工成型方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110066798.X
  • IPC分类号:B24B5/50;B24B5/04;B24B5/35;B24B41/02;B24B41/06;B24B53/007;C30B29/06;C30B28/10
  • 申请日期:
    2021-01-19
  • 申请人:
    南京倍翔伟商贸有限公司
著录项信息
专利名称一种半导体硅晶片加工成型方法
申请号CN202110066798.X申请日期2021-01-19
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2021-06-04公开/公告号CN112894505A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B5/50IPC分类号B;2;4;B;5;/;5;0;;;B;2;4;B;5;/;0;4;;;B;2;4;B;5;/;3;5;;;B;2;4;B;4;1;/;0;2;;;B;2;4;B;4;1;/;0;6;;;B;2;4;B;5;3;/;0;0;7;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;2;8;/;1;0查看分类表>
申请人南京倍翔伟商贸有限公司申请人地址
江苏省南京市江宁区东山街道章村社区石羊路1017号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京倍翔伟商贸有限公司当前权利人南京倍翔伟商贸有限公司
发明人杨蕊
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明涉及一种半导体硅晶片加工成型方法,其使用了一种打磨设备,该打磨设备包括工型架、放置筒、拉伸装置、导向装置、打磨装置,通过调节螺杆正转时带动拉板两侧的工型滑块在工型滑槽内向上移动,实现两个调向板相靠近时带动两个弧形导向架相靠近从而对不同直径的拉升出的硅晶棒进行导向,使悬空向上的硅晶棒底部在打磨时不发生偏移,通过正向转动双向丝杠,带动两个滑动板在工型架上相向滑动,两个滑动板相靠近时带动两个打磨架相向运动对拉升后以定型的硅晶板进行固定打磨,实现硅晶棒的拉伸与打磨同时进行,通过擦拭海绵置入放置槽内可实现转动后与擦拭海绵接触,从而对打磨辊进行及时清洁,避免影响继续对硅晶棒的打磨。

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