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电极间隔离结构、气相沉积设备和石墨舟

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922185319.7
IPC分类号：C23C16/50;H01L21/673
申请日期：
2019-12-09
申请人：
苏州拓升智能装备有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	电极间隔离结构、气相沉积设备和石墨舟
申请号	CN201922185319.7	申请日期	2019-12-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/50 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/44 以镀覆方法为特征的（C23C 16/04优先）〔4〕 C23C16/50 借助放电的〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;5;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人	苏州拓升智能装备有限公司	申请人地址	江苏省苏州市吴中区木渎镇金枫南路1258号B3幢二楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州拓升智能装备有限公司	当前权利人	苏州拓升智能装备有限公司
发明人	叶继春;闫宝杰;曾俞衡;王玉明;程海良;陈晖;廖明墩;谢利华;李旺鹏
代理机构	北京金智普华知识产权代理有限公司	代理人	皋吉甫

摘要

本实用新型实施例提供了一种电极间隔离结构、气相沉积设备和石墨舟，所述电极间隔离结构包括：内隔离管；以及外隔离管，套设于所述内隔离管外，所述外隔离管的长度小于所述内隔离管，且所述外隔离管在所述内隔离管表面上的垂直投影位于所述内隔离管表面内，并且所述内隔离管的外壁与所述外隔离管的内壁间隔设置以使得所述内隔离管的外壁与所述外隔离管的内壁之间形成缝隙。

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