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电镀设备及其操作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910391509.6
  • IPC分类号:C25D17/02;C25D17/06;C25D5/08;C25D7/00
  • 申请日期:
    2019-05-10
  • 申请人:
    PYXISCF私人有限公司
著录项信息
专利名称电镀设备及其操作方法
申请号CN201910391509.6申请日期2019-05-10
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-01-31公开/公告号CN110735174A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C25D17/02IPC分类号C;2;5;D;1;7;/;0;2;;;C;2;5;D;1;7;/;0;6;;;C;2;5;D;5;/;0;8;;;C;2;5;D;7;/;0;0查看分类表>
申请人PYXISCF私人有限公司申请人地址
新加坡新加坡 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人PYXISCF私人有限公司当前权利人PYXISCF私人有限公司
发明人A.森;N.K.巴希拉坦
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人焦玉恒
摘要
本公开涉及一种电镀设备,用于对基板进行电镀处理,所述电镀设备包括:槽体,适于容纳电镀液,所述槽体包括至少一个侧壁,所述至少一个侧壁设置有连通所述槽体的内侧与外侧的开口;固定装置,配置为将所述基板固定于所述侧壁的开口处。本公开还涉及一种电镀设备的操作方法,包括:将基板放置在所述侧壁的开口处,并操作所述固定装置将所述基板固定;以及对所述基板进行电镀处理。

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