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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

具有蚀刻背面的磷硅酸盐玻璃层的全集成热喷墨打印头

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN00108727.4
  • IPC分类号:B41J2/14
  • 申请日期:
    2000-05-26
  • 申请人:
    惠普公司
著录项信息
专利名称具有蚀刻背面的磷硅酸盐玻璃层的全集成热喷墨打印头
申请号CN00108727.4申请日期2000-05-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2001-03-07公开/公告号CN1286168
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B41J2/14IPC分类号B;4;1;J;2;/;1;4查看分类表>
申请人惠普公司申请人地址
美国德克萨斯州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人惠普发展公司,有限责任合伙企业当前权利人惠普发展公司,有限责任合伙企业
发明人N·A·卡瓦穆拉;C·C·达维斯;T·L·韦伯;K·E·特吕巴;J·P·哈蒙;D·R·托马斯
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人蔡民军;黄力行
摘要
一种用集成电路技术生产的一体化打印头,其中将包括喷墨元件(24)在内的薄膜层(24,40-50)设置在硅基片(20)的上表面。对以上各层进行蚀刻,以便形成通向所述喷墨元件(24)的导电体(25)。基片(20)的下表面蚀刻一个槽(36)。薄膜层的上表面形成一个有孔层(28),以便形成喷口(34)和喷墨腔(30)。一磷硅酸盐玻璃(PSG)层提供位于电阻层之下的绝缘层,该PSG层从输墨孔被蚀刻回并受一钝化层保护,以避免油墨与PSG层反应。

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