一种谐振器的调频方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110006473.2
IPC分类号：H03H9/02
申请日期：
2021-01-05
申请人：
武汉大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种谐振器的调频方法
申请号	CN202110006473.2	申请日期	2021-01-05
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-11	公开/公告号	CN112787616A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H9/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H9/00 包括机电或电声器件的网络；机电谐振器（制造压电或磁致伸缩元件入H01L 41/00；扬声器，话筒，唱机拾音器或类似物入H04R） H03H9/02 零部件〔3〕	IPC分类号	H;0;3;H;9;/;0;2查看分类表>
申请人	武汉大学	申请人地址	湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	武汉大学	当前权利人	武汉大学
发明人	孙成亮;谷曦宇;国世上;周杰;徐沁文;高超;曲远航
代理机构	武汉科皓知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	许莲英

摘要

本发明提出了一种谐振器的调频方法。所述谐振器由下电极、压电层、上电极依次叠加构成。所述的压电层上部电极宽度小于或大于下部电极宽度；固定谐振器下电极的宽度，来调节电极的相对金属率，从而调节电极损耗与压电层的压电参数，通过调节上电极的宽度来调节谐振器的谐振频率；本发明方法固定谐振器上电极的宽度，来调节电极的相对金属率，从而调节电极损耗与压电层的压电参数，通过调节下电极的宽度来调节谐振器的谐振频率；本发明谐振器调频方法易于集成且适合量产的可调谐的谐振器，使其能够实现在一片晶圆上制造不同谐振频率的谐振器。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供