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大口径光学元件光学特性的快速检测方法及装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210199966.3
  • IPC分类号:G01M11/02
  • 申请日期:
    2012-06-18
  • 申请人:
    合肥知常光电科技有限公司
著录项信息
专利名称大口径光学元件光学特性的快速检测方法及装置
申请号CN201210199966.3申请日期2012-06-18
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2012-09-19公开/公告号CN102680213A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01M11/02IPC分类号G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人合肥知常光电科技有限公司申请人地址
安徽省合肥市望江西路800号动漫基地C4楼206室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人合肥利弗莫尔仪器科技有限公司当前权利人合肥利弗莫尔仪器科技有限公司
发明人吴周令;陈坚;吴令奇
代理机构合肥天明专利事务所代理人金凯
摘要
本发明公开了一种大口径光学元件光学特性的快速检测方法及装置,首先将泵浦光束照射到被测样品表面上的测量点1,由测量点1反射出来的泵浦光经能量回收反射镜后再次照射到样品表面上的测量点2,以此类推,泵浦光经能量回收反射镜后多次与被测样品表面相互作用,在被测样品表面的测量点1到测量点N都引起了局部材料特性变化。这N个测量点的局部材料特性变化由探测光束进行并行探测。本发明利用泵浦光能量回收反射镜对被测样品反射出来的激光能量进行回收重复利用从而大幅度提高大口径光学元件光学特性检测速度,该方法和装置可以用于光热无损检测、光热精密测量、光学吸收光谱、光热成像与缺陷分析等多个领域,特别适用于对大口径激光反射镜微弱吸收特性的快速检测与成像。

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