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热损失型风速传感器及其制备方法和检测方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710034159.9
  • IPC分类号:G01P5/12
  • 申请日期:
    2017-01-18
  • 申请人:
    东南大学
著录项信息
专利名称热损失型风速传感器及其制备方法和检测方法
申请号CN201710034159.9申请日期2017-01-18
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-05-31公开/公告号CN106771339A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01P5/12IPC分类号G;0;1;P;5;/;1;2查看分类表>
申请人东南大学申请人地址
江苏省南京市江宁区东南大学路2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东南大学当前权利人东南大学
发明人易真翔;董蕾;王立峰;秦明;黄庆安
代理机构南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)代理人杨晓玲
摘要
本发明公开一种热损失型风速传感器,包括绝缘衬底,布置在绝缘衬底背面的加热电感线圈,以及布置在绝缘衬底正面且与加热电感线圈位置正对应的发热电感线圈;绝缘衬底正面上设有二氧化硅层,发热电感线圈的两个线端在二氧化硅薄层中连接,以形成闭合回路。同时还公开这种热损失型风速传感器的制备方法和基于这种热损失型风速传感器的风速检测方法。实现了正面感风,提高风速传感器的灵敏度,降低风速传感器的功耗;且通过正背面的电感线圈互相作用,解决引线问题,实现正面无线加热和无线测温,避免了键合线技术和衬底通孔技术。

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