一种锰基氧化物微型超级电容器的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110927601.7
IPC分类号：H01G11/46;H01G11/86
申请日期：
2021-08-11
申请人：
浙江浙能技术研究院有限公司;浙江浙能北仑发电有限公司

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专利名称	一种锰基氧化物微型超级电容器的制备方法
申请号	CN202110927601.7	申请日期	2021-08-11
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-19	公开/公告号	CN113675006A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01G11/46 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01G 电容器；电解型的电容器、整流器、检波器、开关器件、光敏器件或热敏器件（电介质专用材料的选择入H01B 3/00；电位跃迁或表面阻挡层的电容器入H01L 29/00） H01G11/00 混合电容器，即具有不同正极和负极的电容器；双电层（EDL）电容器；其制造方法或其零部件的制造方法〔2013.01〕 H01G11/22 电极〔2013.01〕 H01G11/30 以它们的材料为特征的〔2013.01〕 H01G11/46 金属氧化物〔2013.01〕	IPC分类号	H;0;1;G;1;1;/;4;6;;;H;0;1;G;1;1;/;8;6查看分类表>
申请人	浙江浙能技术研究院有限公司;浙江浙能北仑发电有限公司	申请人地址	浙江省杭州市余杭区五常街道余杭塘路2159-1号1幢5楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江浙能技术研究院有限公司,浙江浙能北仑发电有限公司	当前权利人	浙江浙能技术研究院有限公司,浙江浙能北仑发电有限公司
发明人	臧孝贤;马福元;陈强峰;寿春晖;但亚平;王补欢;张继国;赵宇;吴田;成城;傅维栋
代理机构	杭州九洲专利事务所有限公司	代理人	张羽振

摘要

本发明涉及一种锰基氧化物微型超级电容器的制备方法，包括步骤：旋涂：在洁净的基底表面旋涂光刻胶；光刻：在旋涂处理后的基底表面进行曝光、显影；蒸镀：在光刻处理后的基底表面进行蒸镀，先蒸镀一层铬金属薄膜，再蒸镀一层金金属薄膜；溅射：在蒸镀处理后的基底表面，采用磁控溅射镀膜系统对叉指图案区域进行溅射，靶材为锰基氧化物；剥离：溅射后的器件放入有机溶剂中浸泡，除去叉指结构图案以外的薄膜。本发明的有益效果是：利用磁控溅射工艺制备结构致密且附着力强的薄膜电极，液相剥离工艺简单且获得的叉指结构电极形状保持完整，有利于缩小相邻叉指电极的间隙宽度，增加叉指电极数量，增加电极的有效面积，从而提高微型器件容量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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