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一种电子控制晶圆平整度加工化学机械研磨设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202210856828.1
IPC分类号：B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34
申请日期：
2022-07-20
申请人：
烟台职业学院

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种电子控制晶圆平整度加工化学机械研磨设备
申请号	CN202210856828.1	申请日期	2022-07-20
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-12-06	公开/公告号	CN115431164A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/04 适用于加工平面的〔1，2012.01〕 B24B37/07 以工件或研具的运动为特征〔2012.01〕 B24B37/10 用于单侧研磨〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;1;0;;;B;2;4;B;3;7;/;3;0;;;B;2;4;B;3;7;/;3;4查看分类表>
申请人	烟台职业学院	申请人地址	山东省烟台市莱山区滨海中路2018号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	烟台职业学院	当前权利人	烟台职业学院
发明人	郭迎娣
代理机构	北京中南长风知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	穆丽红

摘要

本发明涉及半导体制造的技术领域，特别是涉及一种电子控制晶圆平整度加工化学机械研磨设备，其提高研磨效率，增加晶圆研磨精度；包括操作台，操作台上设置有支撑柱，支撑柱上转动安装有摆动梁，摆动梁上设置有长槽孔，摆动梁转动安装使研磨加工区调节，摆动梁转动设置有安装座，安装座上转动设置有多组安装轴，安装座使多组安装轴与摆动梁转动安装，安装轴上同轴设置有研磨块。

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