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一种可翻转产品的卧式热壁CVD涂层镀膜机用石墨夹具

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202020408616.3
  • IPC分类号:C23C16/458
  • 申请日期:
    2020-03-26
  • 申请人:
    浙江六方碳素科技有限公司
著录项信息
专利名称一种可翻转产品的卧式热壁CVD涂层镀膜机用石墨夹具
申请号CN202020408616.3申请日期2020-03-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/458IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;8查看分类表>
申请人浙江六方碳素科技有限公司申请人地址
浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道展诚大道78号6号楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江六方碳素科技有限公司当前权利人浙江六方碳素科技有限公司
发明人盛锋锋;周李伟;丁柳宁;陈嘉琪;刘超
代理机构北京华旭智信知识产权代理事务所(普通合伙)代理人李丽
摘要
本实用新型提供一种可翻转产品的卧式热壁CVD涂层镀膜机用石墨夹具,包括:第一圆环(1),第二圆环(2),翻转杆(3),旋转杆(6),固定螺丝(7),第一旋转电机(8),步进电机(9),第二旋转电机(10),升降电机(11);样品(12)为圆盘形,固定在石墨夹具上,第二圆环置于第一圆环内部并且相互垂直,第一圆环和第二圆环部分固定连接在一起,翻转杆与第一圆环和第二圆环上的圆形通孔适配连接,旋转杆与第一圆环适配连接,第一旋转电机与步进电机均与翻转杆连接,第二旋转电机和升降电机与旋转杆连接,升降电机控制旋转杆的上下伸缩,实现旋转杆与夹具的连接和断开,第二旋转电机带动旋转杆自转。

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