成膜装置、成膜方法、有机EL元件及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200410062408.8
IPC分类号：--
申请日期：
2004-07-02
申请人：
日本东北先锋公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	成膜装置、成膜方法、有机EL元件及其制造方法
申请号	CN200410062408.8	申请日期	2004-07-02
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2005-02-09	公开/公告号	CN1578548
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	日本东北先锋公司	申请人地址	日本山形县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本东北先锋公司	当前权利人	日本东北先锋公司
发明人	丹博树;梅津茂裕
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	李辉

摘要

一种成膜装置、成膜方法、有机EL元件及其制造方法。在对面积较大的基板进行成膜时，可以达到良好的图形形成精度及均匀的膜厚。具备相对成膜对象的基板(1)至少具有排列成直线状的多个成膜单元(20a)的线状排列成膜源(20)，在使线状排列成膜源(20)和基板(1)的一方或两方在与该排列方向交叉的方向(箭头方向)上移动的同时，在基板(1)上进行成膜，该线状排列成膜源(20)将成膜单元(20a)配置成，使各成膜单元(20a)的移动轨迹间距(pm)小于沿着直线状排列方向相邻的成膜单元(20a)间的排列间距(p)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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