加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

光刻设备、确定其至少一个偏振属性的方法、检偏器和偏振传感器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200680028086.2
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2006-06-13
  • 申请人:
    ASML荷兰有限公司
著录项信息
专利名称光刻设备、确定其至少一个偏振属性的方法、检偏器和偏振传感器
申请号CN200680028086.2申请日期2006-06-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2008-07-30公开/公告号CN101233454
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人ASML荷兰有限公司申请人地址
荷兰维德霍温 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人ASML荷兰有限公司当前权利人ASML荷兰有限公司
发明人马库斯·艾德里纳斯·范德柯克霍夫;威廉姆斯·皮卓斯·德波艾;亨瑞克斯·罗伯特斯·玛丽·范格瑞文波奥克;迈克·弗兰索斯·休伯特·克拉森;海考·维克特·考克;马提基恩·杰勒德·多米尼克·维瑞恩斯;坦摩·尤特迪基克;威廉姆斯·贾克布斯·玛丽安·罗奥杰卡斯;约翰内斯·玛丽安·库普;利昂·范道仁;雅各布·桑尼威尔德;欧文·约翰内斯·马丁内斯·吉林
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人王波波
摘要
公开了一种光刻设备,包括被配置用于调节辐射束的照射系统;被配置用于至少部分地连接到掩模版台的偏振传感器,其中所述掩模版偏振传感器的部件可以以用于常规的掩模版的方式在光刻设备中被加载和卸载。在一种配置中,主动式掩模版工具包括被配置用于改变施加给从照射系统中的场点接收到的偏振光的推迟的可旋转推迟器。在另一配置中,被动式掩模版工具被配置为偏振传感器模块阵列,其中由固定的推迟器施加给接收光的推迟量根据偏振传感器模块的位置而变化。相应地,可以测量对于在给定场点上接收到的光的多个推迟条件,其中可以完全确定在所给定的场点上的光的偏振状态。在另一配置中,偏振传感器被配置用于测量投影透镜对于通过投影透镜的光的偏振状态的影响。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供