一种高选择性二氧化锡/碳纳米管气敏传感器件的制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110059434.5
IPC分类号：G01N27/12
申请日期：
2011-03-11
申请人：
雷振东

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种高选择性二氧化锡/碳纳米管气敏传感器件的制作方法
申请号	CN201110059434.5	申请日期	2011-03-11
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-09-19	公开/公告号	CN102680537A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/04 通过测试电阻 G01N27/12 与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;1;2查看分类表>
申请人	雷振东	申请人地址	上海市宜山路822号313-315 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	雷振东	当前权利人	雷振东
发明人	雷振东
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明提供一种高选择性二氧化锡/碳纳米管气敏传感器件的制作方法，该方法采用Al2O3作为模板，由于模板上孔的大小结构均匀，将其浸渍在一定浓度的氯化锡溶液中，氯化锡将均匀的分布到氧化铝的表面，通过煅烧将氯化锡氧化为气敏材料氧化锡。然后，通过乙炔气体热解的方法，利用Al2O3模板的孔道结构限制其生长，最终使碳附着。将氧化铝在氢氧化钠溶液中去除后便得到了碳纳米管/二氧化锡复合材料。将合成的材料制备成传感器，和市场上的传感器进行气敏性能的比较，该材料对甲烷气体的灵敏度和选择性大大增强。本发明具有工艺简单，操作方便，且成本低廉的优点，具有广泛的工业应用前景。

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