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板状物的加工方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310721982.9
  • IPC分类号:H01L21/304
  • 申请日期:
    2013-12-24
  • 申请人:
    株式会社迪思科
著录项信息
专利名称板状物的加工方法
申请号CN201310721982.9申请日期2013-12-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-07-02公开/公告号CN103903975A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/304
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IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人株式会社迪思科申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社迪思科当前权利人株式会社迪思科
发明人杉谷哲一;早川晋
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人李辉;蔡丽娜
摘要
本发明提供一种板状物的加工方法。在对板状物进行磨削并对被磨削面进行蚀刻的加工方法中,即使是蚀刻速率有波动的情况下,也能够将板状物精加工得平坦。以规定的蚀刻方法对平坦的板状物(1)进行蚀刻,预先把握蚀刻后的板状物(1)的形状,在磨削步骤中,将板状物磨削成为非平坦形状的磨削完成形状,该磨削完成形状是通过使所述蚀刻后的板状物的形状反转成相反的形状而得到的。当对被磨削面实施了基于随后的规定的蚀刻方法的蚀刻,板状物(1)形成为厚度均匀的平坦形状。

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