压力传感器和电子装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202010704520.6
IPC分类号：G01L1/18
申请日期：
2020-07-21
申请人：
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司

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著录项信息

专利名称	压力传感器和电子装置
申请号	CN202010704520.6	申请日期	2020-07-21
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-23	公开/公告号	CN111811703A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/18 利用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;1;8查看分类表>
申请人	京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京东方科技集团股份有限公司,北京京东方技术开发有限公司	当前权利人	京东方科技集团股份有限公司,北京京东方技术开发有限公司
发明人	梁魁
代理机构	北京律智知识产权代理有限公司	代理人	王辉;阚梓瑄

摘要

本发明涉及传感器技术领域，提出一种压力传感器和电子装置。该压力传感器包括衬底基板、薄膜晶体管、电极层和弹性导体层；薄膜晶体管设于衬底基板之上；绝缘层组设于薄膜晶体管的远离衬底基板的一侧，绝缘层组上设置有过孔；电极层设于绝缘层组的远离衬底基板的一侧，电极层包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极之间设置有间隔空间，第一电极通过过孔连接于薄膜晶体管的源极或漏极；弹性导体层设于电极层的远离衬底基板的一侧，弹性导体层的电阻能够随施加在其上的压力的变化而变化，使通过第一电极和第二电极之间的电流发生变化。该压力传感器的响应度高、灵敏度较高、有超低的检测限。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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