基于飞秒光频梳的台阶距离测量装置及方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110361124.9
IPC分类号：G01B11/02
申请日期：
2011-11-15
申请人：
清华大学

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著录项信息

专利名称	基于飞秒光频梳的台阶距离测量装置及方法
申请号	CN201110361124.9	申请日期	2011-11-15
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-06-13	公开/公告号	CN102494615A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区信箱82分箱清华大学专利办公室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	朱敏昊;吴学健;李岩;张丽琼;张继涛;尉昊赟
代理机构	西安智大知识产权代理事务所	代理人	贾玉健

摘要

一种基于飞秒光频梳的台阶型表面形貌测量装置及方法，采用已将重复频率和偏置频率锁定至微波频率基准的飞秒光频梳作为光源，分光后将其中的参考光经过一定的光程延迟后与测量光干涉，扫描飞秒光频梳的重复频率并获得每个台阶面对应像素接收到的光强的相干峰值位置，再利用相干峰值对应的重复频率和光程延迟量计算得到台阶的绝对距离；本发明克服了传统方法光路调节难度大和精度受限于压电陶瓷机械运动精度的缺点，且具有纵向分辨率高、测量范围大的优点，同时，飞秒光频梳的重复频率和偏置频率均锁定至铷钟频率基准，测量结果具有可溯源性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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