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激光退火装置和电子器件的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980094700.2
  • IPC分类号:H01L21/268
  • 申请日期:
    2019-05-31
  • 申请人:
    极光先进雷射株式会社
著录项信息
专利名称激光退火装置和电子器件的制造方法
申请号CN201980094700.2申请日期2019-05-31
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-11-09公开/公告号CN113632203A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/268IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;6;8查看分类表>
申请人极光先进雷射株式会社申请人地址
日本栃木县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人极光先进雷射株式会社当前权利人极光先进雷射株式会社
发明人田中智史;铃木章义;星野秀往
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人于英慧;崔成哲
摘要
本公开的一个观点的激光退火装置构成为,对沿着被加工物的面内的第1方向和与第1方向垂直的第2方向中的至少第2方向排列的多个被加工区域统一照射激光,使统一照射区域和被加工物在第1方向上相对移动,进行扫描,该激光退火装置具有:能量密度计测装置,其计测统一照射区域的第2方向的第1端部和第2端部中的至少第2端部的能量密度;能量密度调整装置,其对第1端部的能量密度进行调整;以及控制器,其根据能量密度计测装置的计测结果对能量密度调整装置进行控制,对第N+1扫描时的第1端部的能量密度进行调整,以使与第N扫描区域的第2端部相邻的第N+1扫描区域的第1端部的能量密度接近所述第N扫描区域的所述第2端部的能量密度。

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