氯硅烷提纯方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410126428.0
IPC分类号：C01B33/107
申请日期：
2014-03-31
申请人：
中国恩菲工程技术有限公司

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著录项信息

专利名称	氯硅烷提纯方法
申请号	CN201410126428.0	申请日期	2014-03-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-07-30	公开/公告号	CN103950937A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/107 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/08 含卤素的化合物 C01B33/107 卤化硅烷〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;1;0;7查看分类表>
申请人	中国恩菲工程技术有限公司	申请人地址	北京市海淀区复兴路12号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国恩菲工程技术有限公司	当前权利人	中国恩菲工程技术有限公司
发明人	姜利霞;严大洲;杨永亮;赵雄;肖荣晖;汤传斌
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	李志东

摘要

本发明公开了氯硅烷提纯方法，包括：（1）将第一至第五氯硅烷进行第一至第五精馏提纯得到第一至第五塔顶蒸汽和第一至第五塔底液；（2）将第一塔顶蒸汽进行冷凝处理得到第一氯硅烷冷凝液，将第一氯硅烷冷凝液的一部分返回至第一精馏塔内；（3）将第一至第五塔底液进行第一至第五再沸处理得到第一至第五再沸蒸汽，并将第一至第五再沸蒸汽返回至第一至第五精馏塔内；以及（4）将第二至第五塔顶蒸汽用于第一至第四再沸处理并得到第二至第五氯硅烷冷凝液。与简单耦合精馏工艺相比，本发明的五塔连续耦合节能效果更明显，能耗降低80%，解决了多晶硅系统中提纯工序高能耗的问题，进而降低了生产成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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