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微滴沉积的方法及设备

发明专利无效专利

申请号：
CN00811111.1
IPC分类号：--
申请日期：
2000-07-28
申请人：
萨尔技术有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	微滴沉积的方法及设备
申请号	CN00811111.1	申请日期	2000-07-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-09-04	公开/公告号	CN1367737
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	萨尔技术有限公司	申请人地址	英国剑桥变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	萨尔技术有限公司	当前权利人	萨尔技术有限公司
发明人	R·哈维;P·R·德鲁里
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	崔幼平

摘要

微滴沉积设备包括具有喷嘴(42)的细长腔室(46)，为了沉积，工作中的液体微滴从腔室通过喷嘴喷射，用于通过改变腔室的体积来改变腔室中的液体压力以便实现所述微滴的喷射的装置，以及用于使腔室中的液流增加到补充喷射微滴所需量中的装置(38)，流体通过所述喷嘴以便清洗喷嘴。

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