被检查体的外观检查装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200510003553.3
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2005-12-23
申请人：
株式会社先机

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法律信息

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著录项信息

专利名称	被检查体的外观检查装置
申请号	CN200510003553.3	申请日期	2005-12-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2006-07-26	公开/公告号	CN1808058
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	株式会社先机	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社先机	当前权利人	株式会社先机
发明人	秋山吉宏
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	张鑫

摘要

本发明揭示一种被检查体的外观检查装置，其目的在于缩短基板等被检查体的检查时间。在基板(2)的外观检查装置上，第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的一面进行扫描。第3摄像单元(30c)及第4摄像单元(30d)配置成夹着基板(2)与第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)对向，通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的另一面进行扫描。基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各单元与基板(2)相对移动。在基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各个单元与基板(2)相对移动的一次的移动工序中，摄像单元(30)的各个单元完成对基板(2)的扫描。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN1517674A	2004-08-04	2004-01-19	外观检测装置以及图象获得方法有效专利	株式会社先机
2	CN1621818A	2005-06-01	2004-01-15	玻璃基板的切断面检查装置失效专利	三星康宁精密琉璃株式会社
3	CN1556920A	2004-12-22	2002-09-24	缺陷检查装置失效专利	奥林巴斯株式会社
4	CN2321022Y	1999-05-26	1997-05-27	自动对焦装置失效专利	力捷电脑股份有限公司
5	US5610710A	暂无	1996-05-28	Dual mode illumination system for optical inspection失效专利	Donald H. Canfield;Todd C. Fellows;Earle W. Gillis;Peter J. Yablonsky

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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