半导体专用设备上吸片台清洗装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201010183591.2
IPC分类号：B08B1/00;F16J15/447
申请日期：
2010-05-27
申请人：
中国电子科技集团公司第四十五研究所

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著录项信息

专利名称	半导体专用设备上吸片台清洗装置
申请号	CN201010183591.2	申请日期	2010-05-27
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2010-10-27	公开/公告号	CN101869892A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B1/00 利用工具，刷子或类似工具的清洁方法（B08B 3/12，B08B 6/00，B08B 9/00优先）〔2〕	IPC分类号	B;0;8;B;1;/;0;0;;;F;1;6;J;1;5;/;4;4;7查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第四十五研究所	申请人地址	北京市经济技术开发区西环南路18号All9室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京中电科电子装备有限公司	当前权利人	北京中电科电子装备有限公司
发明人	张文斌;杨生荣;袁立伟
代理机构	石家庄新世纪专利商标事务所有限公司	代理人	张杰

摘要

本发明涉及一种清洗装置，特别是一种用来清洗半导体专用设备上吸片台的清洗装置。该装置包括喷淋系统、迷宫密封系统和毛刷棍系统，毛刷棍穿过毛刷罩安装在毛刷轴上，毛刷轴上依次套有密封环、轴承、内隔圈、外隔圈、轴承、端盖、轴承锁母，轴承锁母通过螺纹固定在毛刷轴上，压盖和端盖固定在轴承座上，两个喷水管安装在毛刷罩上。毛刷棍上均匀分布着浓密的尼龙毛刷，密封环和压盖形成的迷宫密封，毛刷罩上安装有两个喷水管，每个喷水管相对毛刷棍的位置开有稠密的小直径喷水口，毛刷罩底部开有放水槽。本发明具有结构微妙紧凑，安装简单，应用方便，成本低廉的特点。

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