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基于高能电子辐照提高柔性传感器性能的分析方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202211145034.0
  • IPC分类号:G01B7/16;G06F30/20;G16C60/00;G06F113/26
  • 申请日期:
    2022-09-20
  • 申请人:
    哈尔滨工业大学
著录项信息
专利名称基于高能电子辐照提高柔性传感器性能的分析方法
申请号CN202211145034.0申请日期2022-09-20
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2022-12-02公开/公告号CN115420190A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B7/16IPC分类号G;0;1;B;7;/;1;6;;;G;0;6;F;3;0;/;2;0;;;G;1;6;C;6;0;/;0;0;;;G;0;6;F;1;1;3;/;2;6查看分类表>
申请人哈尔滨工业大学申请人地址
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人哈尔滨工业大学当前权利人哈尔滨工业大学
发明人杨剑群;李兴冀;吕钢;徐晓东
代理机构北京隆源天恒知识产权代理有限公司代理人鲍丽伟
摘要
本发明提供一种基于高能电子辐照提高柔性传感器性能的分析方法,包括获取柔性传感器;构建柔性传感器的仿真模型;对仿真模型进行高能电子辐照仿真,获取入射范围大于柔性传感器厚度的第一辐照能量;采用不同辐照注量的高能电子对所述柔性传感器进行辐照;测试辐照前后柔性传感器的基础性能和缺陷结构;根据初始状态下柔性传感器的基础性能和缺陷结构,以及,辐照后柔性传感器的基础性能和缺陷结构,分析高能电子辐照对柔性传感器性能的影响效应及机制。本发明提供的分析方法能够通过辐照前后柔性传感器的表征分析高能电子对柔性传感器性能的影响效应及机制,从而为高能电子辐照技术应用于提高柔性传感器性能提供理论依据。

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