首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

防尘薄膜组件剥离用夹具及剥离方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201010225329.X
IPC分类号：G03F1/64;H01L21/687
申请日期：
2010-07-12
申请人：
信越化学工业株式会社

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	防尘薄膜组件剥离用夹具及剥离方法
申请号	CN201010225329.X	申请日期	2010-07-12
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2011-05-11	公开/公告号	CN102053482A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F1/64 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F1/16 （转入G03F 1/00-G03F 1/86） G03F1/62 薄膜或薄膜集合，例如在支持框架上具有薄膜；其制备〔2012.01〕 G03F1/64 以框架为特征的，例如其结构或材料〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;3;F;1;/;6;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人	信越化学工业株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	信越化学工业株式会社	当前权利人	信越化学工业株式会社
发明人	关原一敏
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇;王璐

摘要

本发明提供一种防尘薄膜组件剥离用夹具及剥离方法，该防尘薄膜组件剥离用夹具针对光罩具备固定构件，针对防尘薄膜组件具备粘接层，固定光罩与防尘薄膜组件相互之间的位置关系，在固定状态下将遮罩粘接层拉出并除去。本发明所述的简便的夹具以及剥离方法，能够以简易且安全的方式剥离贴附于光罩上的防尘薄膜组件。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供