用于为电子柱维持不同真空度的装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200780004403.1
IPC分类号：H01J37/147
申请日期：
2007-02-02
申请人：
电子线技术院株式会社

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著录项信息

专利名称	用于为电子柱维持不同真空度的装置
申请号	CN200780004403.1	申请日期	2007-02-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-03-04	公开/公告号	CN101379585
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/147 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/147 沿所需路径导引或偏转电子流的装置（透镜入H01J 37/10）〔2〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;1;4;7查看分类表>
申请人	电子线技术院株式会社	申请人地址	韩国忠清南道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	电子线技术院株式会社	当前权利人	电子线技术院株式会社
发明人	金浩燮
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	党晓林

摘要

公开了一种用于为电子柱维持不同真空度的装置，该装置用于将电子柱和样品保持在不同的真空度下，所述电子柱包括电子发射器、透镜部件和用于固定电子发射器、透镜部件的壳体。所述装置包括：柱壳体连接部，所述柱壳体连接部连接到壳体以隔离真空；中空部，所述中空部通过装置的中心部分限定，以允许从电子柱发出的电子束通过该中空部；以及真空隔离部，所述真空隔离部具有用于真空连接的垫圈的结构，其中，通过利用最后定位在发射电子束所沿的路径中的透镜电极层的孔口或利用所述中空部，将装置的两侧之间的真空度差保持为不小于10托。

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