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限位装置及限位系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810909764.0
  • IPC分类号:B23Q1/26;B25H1/14
  • 申请日期:
    2018-08-10
  • 申请人:
    上海微电子装备(集团)股份有限公司
著录项信息
专利名称限位装置及限位系统
申请号CN201810909764.0申请日期2018-08-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2020-02-21公开/公告号CN110814785A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23Q1/26IPC分类号B;2;3;Q;1;/;2;6;;;B;2;5;H;1;/;1;4查看分类表>
申请人上海微电子装备(集团)股份有限公司申请人地址
上海市浦东新区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人黄亚庆
代理机构上海思捷知识产权代理有限公司代理人王宏婧
摘要
本发明提供了一种限位装置及限位系统,包括:与运动台的动子或定子固定连接的限位框,与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆,所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内,所述缓冲件与限位框之间留有间隙,以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器,所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触;限位装置系统,包括多个限位装置。在本发明提供的限位装置及限位系统中,能有效减小运动台边界的极限偏移量;且能避免运动台在极限位置时电机仍在发力,造成结构损坏或电机烧毁。

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