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真空处理设备、使用该真空处理设备制造图像显示设备的方法以及由该真空处理设备制造的电子装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200880100331.5
  • IPC分类号:C23C14/04;C23C14/24
  • 申请日期:
    2008-03-28
  • 申请人:
    佳能安内华股份有限公司
著录项信息
专利名称真空处理设备、使用该真空处理设备制造图像显示设备的方法以及由该真空处理设备制造的电子装置
申请号CN200880100331.5申请日期2008-03-28
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2010-07-28公开/公告号CN101790597A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/04IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人佳能安内华股份有限公司申请人地址
日本神奈川县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人佳能安内华股份有限公司当前权利人佳能安内华股份有限公司
发明人井上雅人;松井绅;姬路俊明
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所代理人刘新宇;张会华
摘要
一种真空处理设备,其使用磁性材料的掩模膜状平面和磁性材料的掩模框架来处理被处理物体,该真空处理设备的特征在于,由永电磁体吸引磁性材料的掩模,永电磁体被配置在相对于安装有被处理物体的表面与掩模相反的一侧。

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