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一种单个芯片金凸点的制备和倒装方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811629377.8
  • IPC分类号:H01L21/56;H01L21/683
  • 申请日期:
    2018-12-28
  • 申请人:
    中国电子科技集团公司第五十五研究所
著录项信息
专利名称一种单个芯片金凸点的制备和倒装方法
申请号CN201811629377.8申请日期2018-12-28
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-05-31公开/公告号CN109830444A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/56IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;5;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人中国电子科技集团公司第五十五研究所申请人地址
江苏省南京市中山东路524号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国电子科技集团公司第五十五研究所当前权利人中国电子科技集团公司第五十五研究所
发明人田飞飞;周明
代理机构南京君陶专利商标代理有限公司代理人沈根水
摘要
本发明是一种单个芯片金凸点的制备和倒装方法,包括如下步骤:(1)选择合适厚度的载体用来制备芯片焊盘上的金凸点;(2)将液体胶水滴在芯片载体上;(3)轻刮拭液体胶水至薄薄一层;(4)将芯片依次放置在未固化的液体胶水上;(5)在植球机器上制备金凸点;(6)用制备好金凸点的芯片载体放入有机溶剂中浸泡5‑10分钟取下芯片,将芯片放入有机溶剂中漂洗干净,取出晾干或烘干;(7)将带有金凸点的芯片倒装在所需倒装的载体上。优点:1)适用范围广、适用性强,适用于任何尺寸的芯片而无需制作与每款芯片相匹配的工装夹具;2)对非晶圆级、单个芯片而言,操作过程简单、方便、省时;3)成本低廉。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供