输片协作的多个机器人设备的调度方法及系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201310311790.0
IPC分类号：G05B19/418
申请日期：
2013-07-23
申请人：
清华大学

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著录项信息

专利名称	输片协作的多个机器人设备的调度方法及系统
申请号	CN201310311790.0	申请日期	2013-07-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-11-20	公开/公告号	CN103399543A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B19/418 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B19/00 程序控制系统（特殊应用见有关位置，例如A47L 15/46；附带或内装有在预定时间间隔操作任一器件的装置的时钟入G04C 23/00；记录或读取数字信息的记录载体入G06K；信息存储器入G11；在程序执行完了后自动终止其运行的时间或时间程序开关入H01H 43/00） G05B19/02 电的 G05B19/418 全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制（DNC）、柔性制造系统（FMS）、集成制造系统（IMS）、计算机集成制造（CIM）〔6〕	IPC分类号	G;0;5;B;1;9;/;4;1;8查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区-82信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	徐华;袁源;高士云
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张大威

摘要

本发明提出一种输片协作的多个机器人设备的调度方法及系统，其中，方法包括以下步骤：接收多个机器人设备的待处理任务；对多个机器人设备进行配置，并生成配置信息；根据配置信息、多个机器人设备的拓扑结构、路径列表和晶圆列表生成对多个机器人设备进行有序调度的调度序列；以及根据调度序列和多个机器人设备的待处理任务对多个机器人设备进行调度控制，使多个机器人设备协同完成待处理任务。根据本发明实施例的方法，实现了对输片协作机器人设备特征、生产路径及所需加工晶圆信息的灵活配置，同时提高了机器人设备的工作效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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