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具有集成式固态薄膜参比电极的GaN生物传感器及制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610326568.1
IPC分类号：G01N27/327;G01N27/26;B81C1/00
申请日期：
2016-05-17
申请人：
西安电子科技大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有集成式固态薄膜参比电极的GaN生物传感器及制作方法
申请号	CN201610326568.1	申请日期	2016-05-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-07-27	公开/公告号	CN105806913A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/327 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/26 通过测试电化学变量；用电解或电泳法〔5〕 G01N27/28 电解池部件 G01N27/30 电极，例如测试电极；半电池（G01N 27/414优先）〔5〕 G01N27/327 生物化学电极〔5〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;3;2;7;;;G;0;1;N;2;7;/;2;6;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	西安电子科技大学	申请人地址	陕西省西安市雁塔区太白南路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安电子科技大学	当前权利人	西安电子科技大学
发明人	张鹏;张晨阳;谢涌;马晓华;施建章;郝跃
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	陆万寿

摘要

本发明公开了一种具有集成式固态薄膜参比电极的GaN生物传感器及制作方法，本发明提出的基于GaN生物传感器的集成式固态薄膜参比电极与GaN生物传感器现用外置参比电极相比，电极位置固定，采用微电子工艺制作，参比电极精密度更高，且与GaN器件同时制作使得制作成本低，集成度高，易于进行小型化和便携式GaN生物传感器的实现。

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