一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201710781725.2
IPC分类号：H01L43/12;H01L43/10;H01L43/08;G01R33/09;B82Y15/00
申请日期：
2017-09-02
申请人：
太原理工大学

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著录项信息

专利名称	一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法
申请号	CN201710781725.2	申请日期	2017-09-02
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2018-02-23	公开/公告号	CN107732006A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L43/12 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L43/00 应用电—磁或者类似磁效应的器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备（由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L 27/00）〔2〕 H01L43/12 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;4;3;/;1;2;;;H;0;1;L;4;3;/;1;0;;;H;0;1;L;4;3;/;0;8;;;G;0;1;R;3;3;/;0;9;;;B;8;2;Y;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	太原理工大学	申请人地址	山西省太原市万柏林区迎泽西大街79号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	太原理工大学	当前权利人	太原理工大学
发明人	桑胜波;张强;杜怡;赵冬;冀健龙;袁仲云;菅傲群;张文栋
代理机构	太原高欣科创专利代理事务所（普通合伙）	代理人	崔雪花

摘要

本发明一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法，属于传感器技术领域；所要解决的技术问题是提供了一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法；解决该技术问题采用的技术方案为：一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法，具体步骤为利用柔性聚合物材料、导电纳米材料、磁性纳米材料以涂覆的方法制备三明治结构的柔性薄膜磁传感器；本发明工艺简单、成本低廉、可控性强，制备得到的柔性薄膜磁传感器灵敏度高、稳定性强、伸缩性好，为实现微型化、低成本、批量化生产提供了可能；本发明可广泛应用于磁场检测领域。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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