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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

研磨装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200880012830.9
  • IPC分类号:H01L21/304;H01L21/02;B24B37/04
  • 申请日期:
    2008-04-17
  • 申请人:
    株式会社荏原制作所
著录项信息
专利名称研磨装置
申请号CN200880012830.9申请日期2008-04-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-03-03公开/公告号CN101663739
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/304
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IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;B;2;4;B;3;7;/;0;4查看分类表>
申请人株式会社荏原制作所申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社荏原制作所当前权利人株式会社荏原制作所
发明人中尾秀高;井上正文;武田晃一
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人徐殿军
摘要
研磨装置具备:载置部(14),载置容纳有多个研磨对象物的盒(12);第一研磨线(20)及第二研磨线(30),对研磨对象物进行研磨;清洗线(40),具备对研磨后的研磨对象物进行清洗的清洗机(42a、42b、42c、42d)和输送研磨对象物的输送单元(44);输送机构(50),在载置部(14)、研磨线(20、30)及清洗线(40)之间输送研磨对象物;控制部,控制研磨线(20、30)、清洗线(40)及输送机构(50)。控制部基于第一及第二研磨线(20、30)的预测研磨时间、输送机构(50)的预测输送时间、清洗线(40)的预测清洗时间及驱动清洗线(40)的输送单元(44)而开始进行清洗的清洗开始预测时刻,决定第一或第二研磨线(20、30)的研磨开始时刻。

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