薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200920245571.6
IPC分类号：G01N21/88;G01M11/02
申请日期：
2009-12-02
申请人：
西安工业大学

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著录项信息

专利名称	薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置
申请号	CN200920245571.6	申请日期	2009-12-02
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	西安工业大学	申请人地址	陕西省西安市金花北路4号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安工业大学	当前权利人	西安工业大学
发明人	苏俊宏;徐均琪;梁海锋;杨利红;惠迎雪;杭凌侠;朱昌
代理机构	西安新思维专利商标事务所有限公司	代理人	黄秦芳

摘要

本实用新型涉及一种薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置。由于现有测试装置的测试结果存在较大的误差、存在误判可能并且对各种薄膜材料适应性差，因此实用性差的问题。本实用新型的一种薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置，包括测试组件和处理组件，其中测试组件包括设置于一条主光轴上的Nd:YAG激光器、开关挡板，衰减器，第一分束器、聚焦透镜、第二分束器和样片台，还包括光束分析仪和能量计、辅助激光器、光电二极管阵列、会聚透镜、光电探测器件和CCD照相机，其中辅助激光器偏离主光轴设置，其发射光束朝向样片台；处理组件包括计算机。本实用新型的此种结构误差极小且无误判发生、适应性和实用性强。

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