一种由1,3二羟基丙酮二聚体合成的主链可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法和应用

发明专利有效专利

申请号：
CN202110694995.6
IPC分类号：C07D493/20;G03F7/027;G03F7/004
申请日期：
2021-06-23
申请人：
徐州博康信息化学品有限公司

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专利名称	一种由1,3二羟基丙酮二聚体合成的主链可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法和应用
申请号	CN202110694995.6	申请日期	2021-06-23
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-31	公开/公告号	CN113321663A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07D493/20 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07D 杂环化合物（高分子化合物入C08）〔2〕 C07D493/00 杂环化合物，在稠环系中含有氧原子作为仅有的杂环原子〔2〕 C07D493/12 在稠环系中含有3个杂环〔2〕 C07D493/20 螺稠合系〔2〕	IPC分类号	C;0;7;D;4;9;3;/;2;0;;;G;0;3;F;7;/;0;2;7;;;G;0;3;F;7;/;0;0;4查看分类表>
申请人	徐州博康信息化学品有限公司	申请人地址	江苏省徐州市邳州市经济开发区化工聚集区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	徐州博康信息化学品有限公司	当前权利人	徐州博康信息化学品有限公司
发明人	傅志伟;潘新刚;陆伟;郭有壹;纪兴跃;李静
代理机构	合肥鸿知运知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王金良

摘要

本发明涉及光刻胶树脂技术领域，且公开了一种由1,3二羟基丙酮二聚体合成的主链可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法和应用，所述主链可降解型树脂单体的结构通式为：其中，R1为氢或者甲基，R2为烷基或者环烷基，M为二价的连接基团，或者R2与M形成脂肪环。该由1,3二羟基丙酮二聚体合成的主链可降解型光刻胶树脂单体,在与其它单体形成聚合物时能够产生交联，形成网状结构，有利于增加抗蚀性，并且所述树脂单体结构中含脂肪环，进一步增加了抗蚀性，树脂单体中的极性环氧结构也有助于改善树脂与晶圆的粘附性。

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