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用于产生远紫外线和软X射线的装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200480022673.1
  • IPC分类号:H05G2/00
  • 申请日期:
    2004-07-29
  • 申请人:
    皇家飞利浦电子股份有限公司
著录项信息
专利名称用于产生远紫外线和软X射线的装置
申请号CN200480022673.1申请日期2004-07-29
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2006-09-13公开/公告号CN1833472
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H05G2/00IPC分类号H;0;5;G;2;/;0;0查看分类表>
申请人皇家飞利浦电子股份有限公司申请人地址
荷兰艾恩德霍芬 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人皇家飞利浦电子股份有限公司当前权利人皇家飞利浦电子股份有限公司
发明人K·贝尔格曼;W·内夫
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人蔡民军;赵辛
摘要
本发明涉及一种气体放电源,尤其是用于产生远紫外线和/或软X射线,其中气体填充中间电极间隙(3)位于两个电极(1、2)之间,其中具有用于气体进入和排空的装置,以及其中一个电极(1)具有限定对称轴线(4)且被用于射线释放的开口(5)。提出的改进在于隔膜(6),该隔膜(6)在对称轴(4)上具有至少一个开口(7)且在两个电极(1、2)之间作为差动泵级工作。

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