一种基于同步带传送的基片材料输送装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201620831730.0
IPC分类号：H01L21/67;H01L21/677;H01L21/673;H01L21/66
申请日期：
2016-08-01
申请人：
江苏宇天港玻新材料有限公司

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专利名称	一种基于同步带传送的基片材料输送装置
申请号	CN201620831730.0	申请日期	2016-08-01
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	江苏宇天港玻新材料有限公司	申请人地址	江苏省淮安市洪泽县经济开发区北三道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏宇天港玻新材料有限公司	当前权利人	江苏宇天港玻新材料有限公司
发明人	王进东
代理机构	北京君华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	李海峰

摘要

本实用新型公开了一种基于同步带传送的基片材料输送装置，包括电动机、传动装置、传动辊、同步带、基片材料承载框和同步带上方或一侧的监测装置。电动机连接传动装置带动传动辊，同步带两端与传动辊连接，同步带上安装基片材料承载框，当基片材料输送装置工作时，电动机依次带动传动装置、传动辊、同步带与基片材料承载框，从而对位于基片材料承载框上面的基片材料进行输送，还包括位于同步带上方或一侧的监测装置。本实用新型的基于同步带传送的基片材料输送装置，可以同步监控基片材料的传送情况，做到精准传送，减少传送的误差，提高传送的效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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