掩模板样品横断面切割工具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201320028904.6
IPC分类号：B28D5/04
申请日期：
2013-01-18
申请人：
中芯国际集成电路制造（北京）有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	掩模板样品横断面切割工具
申请号	CN201320028904.6	申请日期	2013-01-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B28D5/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B28 加工水泥、黏土或石料 B28D 加工石头或类似石头的材料（采矿或采石用的机械或方法入E21C） B28D5/00 宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备（磨削或抛光加工入B24；用于艺术目的加工入B44B；用非机械方法的入C04B 41/00；单晶的非机械方法后处理入C30B 33/00）〔3〕 B28D5/04 用非旋转式工具的，例如往复式工具	IPC分类号	B;2;8;D;5;/;0;4查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（北京）有限公司	申请人地址	北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（北京）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
发明人	田明静
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本实用新型公开了一种掩模板样品横断面切割工具，包括底板、两块条状垫片、横梁、刀具驱动机构、刀具以及掩模板样品固定机构，所述横梁架设于所述底板上，所述两块条状垫片沿所述横梁的纵向分别安装于所述横梁的两端下方，所述掩模板样品通过所述掩模板样品固定机构安装于所述底板上，所述两块条状垫片之间的间隙与所述掩模板样品上的观察图形区域相对应，通过带动所述刀具驱动机构沿所述横梁移动实现刀具对所述掩模板样品的切割。在每次切割过程中，不需要人为观察确定切割位置，即可以实现掩模板样品的切割，不但可以避免刀具碰伤掩模板样品上的需要观察的切割区域，而且可以实现统一一致的切割，显著提高了切割效率和精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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