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太阳能电池边缘绕镀的去除方法以及太阳能电池的制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110032636.4
  • IPC分类号:H01L31/18;H01L21/3065
  • 申请日期:
    2021-01-11
  • 申请人:
    东方日升新能源股份有限公司
著录项信息
专利名称太阳能电池边缘绕镀的去除方法以及太阳能电池的制作方法
申请号CN202110032636.4申请日期2021-01-11
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-05-07公开/公告号CN112768562A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;5查看分类表>
申请人东方日升新能源股份有限公司申请人地址
浙江省宁波市宁海县梅林街道塔山工业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东方日升新能源股份有限公司当前权利人东方日升新能源股份有限公司
发明人庄魏辰
代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)代理人唐菲
摘要
一种太阳能电池边缘绕镀的去除方法以及太阳能电池的制作方法,属于太阳能电池技术领域。太阳能电池边缘绕镀的去除方法包括:在制绒后的N型硅片正面形成硼掺杂层和硼硅玻璃层;在N型硅片背面依次形成隧穿氧化层和掺磷非晶硅层或者在N型硅片背面形成磷掺杂层,在这过程中掺磷非晶硅层或者磷掺杂层绕镀至N型硅片侧边和硼硅玻璃层表面边缘形成边缘绕镀层;采用等离子气体刻蚀的方法将边缘绕镀层刻蚀去除。其能够有效地去除边缘绕镀,且不容易破坏PN结。

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