一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320485954.7
IPC分类号：G01B11/30;G01B11/06
申请日期：
2013-08-09
申请人：
昆山允可精密工业技术有限公司

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专利名称	一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置
申请号	CN201320485954.7	申请日期	2013-08-09
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/30 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/30 用于计量表面的粗糙度和不规则性	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;3;0;;;G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	昆山允可精密工业技术有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山开发区中小企业园风琴路108号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	昆山允可精密工业技术有限公司	当前权利人	昆山允可精密工业技术有限公司
发明人	夏发平
代理机构	江苏致邦律师事务所	代理人	谢伟

摘要

一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置，包括钢架底座；平台，所述的平台设在钢架底座上；支撑座，所述的支撑座设在平台上；横梁，所述的横梁设在支撑座上；轴系，所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴；所述的X轴设在横梁上；所述的Y轴设在平台上，与X轴相互垂直；所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直，且其运动方向垂直于测量平台；所述的旋转轴固定在Y轴动板上；晶圆承载台，所述的晶圆承载台固定在旋转轴上；接触式测长装置，所述的接触式测长装置固定在Z轴动板上；平面平晶，所述的平面平晶设在与X轴运动方向平行的横梁上。本实用新型结构简单、集成度高、功能全面，为晶圆形状参数测量提供了解决方案。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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